The deposition of sputtered films

被引：17

作者：

Ditchburn, RW

机构：

来源：

PROCEEDINGS OF THE ROYAL SOCIETY OF LONDON SERIES A-CONTAINING PAPERS OF A MATHEMATICAL AND PHYSICAL CHARACTER | 1933年 / 141卷 / 843期

关键词：

D O I：

10.1098/rspa.1933.0110

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

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页码：169 / 188

页数：20

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