INFLUENCE OF SURFACE PRETREATMENT ON GROWTH OF PLASMA-ASSISTED CHEMICALLY VAPOR-DEPOSITED TIN FILMS

被引：3

作者：

DIETZ, T

BOSCHEN, R

VETTERS, H

MAYR, P

机构：

来源：

MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK | 1993年 / 24卷 / 3-4期

关键词：

D O I：

10.1002/mawe.19930240306

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

收藏

页码：86 / 90

页数：5

相关论文

共 7 条

[1]

ARAI Z, 1987, PLASMA ASSISTED CHEM

[2]

CRUMMENAUER J, 1991, ABSCHLUSSBERICHT PLA, P159

[3]

HILTON MR, 1986, THIN SOLID FILMS, P139

[4]

KIKUCHI N, 1984, 9TH P INT CVD

[5]

RICKERBY DS, 1989, PLASMA SURFACE ENG, V2

[6]

RIE KT, 1988, PLASMA CVD BESCHICHT

[7]

SAUNDERS FHM, 1989, PLASMA SURFACE ENG, V1