THIN FILM THICKNESS DETERMINATION BY ALPHA PARTICLE BACKSCATTERING

被引：4

作者：

CHILDS, WA

LENZ, GH

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1971年 / 95卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(71)90543-X

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：441 / &

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