RECRYSTALLIZATION OF THIN GOLD FILMS - INFLUENCE ON THEIR ELECTRICAL PROPERTIES

被引:28
作者
CHAUVINEAU, JP
CROCE, P
DEVANT, G
VERHAEGHE, MF
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1315758
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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