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MICROHARDNESS OF TINX COATINGS OBTAINED BY REACTIVE CATHODIC SPUTTERING
被引：23
作者：
CHEVALLIER, J
CHABERT, JP
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(81)90232-7
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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