EDGE OVERGROWTH IN SELECTIVE DEPOSITION OF GAAS

被引:8
作者
MIKAWA, T
TAKANASH.H
WADA, O
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.11.1756
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1756 / &
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