EFFECTS OF VACUUM AMBIENCE ON ALUMINUM FILMS

被引：5

作者：

BLAIR, JC ^{[1
]}

GHATE, PB ^{[1
]}

机构：

[1] TEXAS INSTRUMENTS INC,SEMICOND RES & DEV LABS,POB 225012,MS 82,DALLAS,TX 75265

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(80)90529-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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