CALIBRATION OF THE PHOTOLUMINESCENCE TECHNIQUE FOR MEASURING B, P AND AL CONCENTRATIONS IN SI IN THE RANGE 10(12)TO 10(15)CM-3 USING FOURIER-TRANSFORM SPECTROSCOPY

被引：48

作者：

COLLEY, PM

LIGHTOWLERS, EC

机构：

[1] King's Coll London, London, Engl, King's Coll London, London, Engl

来源：

SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY | 1987年 / 2卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1088/0268-1242/2/3/005

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

PHOTOLUMINESCENCE

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页码：157 / 166

页数：10

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