MOLTEN METAL ETCHES FOR THE ORIENTATION OF SEMICONDUCTORS BY OPTICAL TECHNIQUES

被引:16
作者
FAUST, JW
SAGAR, A
JOHN, HF
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2425562
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:824 / 828
页数:5
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