ANALYSIS OF IMPURITY ATOM DISTRIBUTION NEAR DIFFUSION MASK FOR A PLANAR P-N JUNCTION

被引：103

作者：

KENNEDY, DP

OBRIEN, RR

机构：

来源：

IBM JOURNAL OF RESEARCH AND DEVELOPMENT | 1965年 / 9卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1147/rd.93.0179

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页码：179 / &

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共 6 条

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