RHEOLOGY AND MODELING OF SPIN COATING PROCESS

被引:121
作者
WASHO, BD [1 ]
机构
[1] IBM CORP,SYST PROD DIV DEV LAB,POUGHKEEPSIE,NY 12602
关键词
D O I
10.1147/rd.212.0190
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
引用
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页数:9
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