ENERGY DISTRIBUTION OF POSITIVE IONS EXTRACTED FROM AN RF PLASMA

被引：13

作者：

OKAMOTO, Y

TAMAGAWA, H

机构：

[1] Department of Nuclear Engineering, Nagoya University, Nagoya

来源：

JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN | 1969年 / 27卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1143/JPSJ.27.270

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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页码：270 / &

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共 3 条

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