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IMAGE EVALUATION OF LIGHT-ENHANCED VAPORIZATION PHOTOLITHOGRAPHIC PROCESS IN AS2S3 THIN-FILMS
被引:10
作者
:
JANAI, M
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JANAI, M
OSCAR, S
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OSCAR, S
LIPSON, SG
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LIPSON, SG
RUDMAN, PS
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RUDMAN, PS
机构
:
来源
:
OPTICS LETTERS
|
1978年
/ 2卷
/ 02期
关键词
:
D O I
:
10.1364/OL.2.000051
中图分类号
:
O43 [光学];
学科分类号
:
070207 ;
0803 ;
摘要
:
引用
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页码:51 / 53
页数:3
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