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DEPOSITION OF METALLIC FILMS BY ELECTRON IMPACT DECOMPOSITION OF ORGANOMETALLIC VAPORS
被引：27
作者：
BAKER, AG
MORRIS, WC
机构：
关键词：
D O I：
10.1063/1.1717408
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
引用
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页码：458 / &
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