SYNTHESIS OF Y-BA-CU-O THIN-FILMS ON SAPPHIRE SUBSTRATES BY RF MAGNETRON SPUTTERING

被引：53

作者：

MICHIKAMI, O

ASANO, H

KATOH, Y

KUBO, S

TANABE, K

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L1199

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L1199 / L1201

页数：3