STABILITY STUDY OF LASER-PATTERNED THERMALLY STABILIZED TANTALUM NITRIDE AND TANTALUM ALUMINUM FILMS

被引：6

作者：

BARLAGE, FM ^{[1
]}

机构：

[1] WESTERN ELECT ENGN RES CTR,LASER STUDIES DEPT,PRINCETON,NJ 08540

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON PARTS HYBRIDS AND PACKAGING | 1973年 / PHP9卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/TPHP.1973.1136717

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：123 / 130

页数：8

共 12 条

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