ARGON PLASMA BRIDGE NEUTRALIZER OPERATION WITH A 10-CM-BEAM-DIAMETER ION ETCHING SOURCE

被引：24

作者：

READER, PD

WHITE, DP

ISAACSON, GC

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569516

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1093 / 1095

页数：3

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共 5 条

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