DISSOLUTION OF SI(100) LAYERS IN NAOH AQUEOUS-SOLUTIONS

被引：13

作者：

AKHTER, P

BAIG, A

MUFTI, A

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS | 1989年 / 22卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3727/22/12/020

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1924 / 1927

页数：4

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共 8 条

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