INVESTIGATION OF PHASE-GROWTH KINETICS DURING INTERACTION OF SILICON SINGLE-CRYSTALS AND MOLYBDENUM THIN-FILMS

被引：5

作者：

FOMIN, BI ^{[1
]}

GERSHINSKII, AE ^{[1
]}

CHEREPOV, EI ^{[1
]}

机构：

[1] ACAD SCI USSR,INST SEMICOND PHYS,NOVOSIBIRSK 90,USSR

来源：

TALANTA | 1977年 / 24卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0039-9140(77)80091-X

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

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页码：192 / 194

页数：3

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共 2 条

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