FAST CALIBRATOR FOR SUPERFINE HELIUM LEAK STANDARDS AND ION CURRENT SENSORS

被引：3

作者：

BERGQUIST, LE ^{[1
]}

SASAKI, YT ^{[1
]}

机构：

[1] QUANTUM MECH CORP,SONOMA,CA 95476

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575910

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2414 / 2417

页数：4

共 5 条

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