AN ELECTRON-MICROSCOPE-BASED SYSTEM FOR ACCURATE MICRODIMENSIONAL MEASUREMENTS

被引：5

作者：

SWYT, DA

JENSEN, SW

机构：

来源：

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING | 1981年 / 3卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0141-6359(81)90067-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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