FOCUSING EFFECTS IN SPUTTER DEPOSITION

被引：4

作者：

CHAPMAN, BN

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1971年 / 8卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(71)90087-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：R41 / &

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共 3 条

[1]

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