INCREASE IN SURFACE-ACOUSTIC-WAVE VELOCITY PRODUCED BY ION-IMPLANTATION IN QUARTZ

被引：4

作者：

HARTEMANN, P ^{[1
]}

MORIZOT, M ^{[1
]}

机构：

[1] THOMSON CSF LAB CENT RECH, DOMAINE CORBEVILLE, BP10, 91401 ORSAY, FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19730368

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页数：2