LOW-TEMPERATURE ELECTROSTATIC SILICON-TO-SILICON SEALS USING SPUTTERED BOROSILICATE GLASS

被引：40

作者：

BROOKS, AD

HARDESTY, CA

DONOVAN, RP

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1972年 / 119卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2404250

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：545 / &

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共 3 条

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