THIRD-ORDER ABERRATION COEFFICIENTS OF ELECTRON LENSES .2.

被引:9
作者
KUYATT, CE
DICHIO, D
NATALI, SV
机构
[1] NBS,WASHINGTON,DC 20234
[2] UNIV BARI,BARI,ITALY
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.1318484
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1124 / 1126
页数:3
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