RESONANT-STRUCTURE MICROMOTORS - HISTORICAL-PERSPECTIVE AND ANALYSIS

被引:12
作者
PISANO, AP [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT MECH ENGN,BERKELEY,CA 94720
来源
SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期
关键词
D O I
10.1016/0250-6874(89)87105-7
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
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