THE ANODIC VACUUM-ARC .2. EXPERIMENTAL-STUDY OF ARC PLASMA

被引：49

作者：

EHRICH, H

HASSE, B

MULLER, KG

SCHMIDT, R

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575535

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

收藏

页码：2499 / 2503

页数：5

相关论文

共 5 条

[1]

CHEN F, 1974, INTRO PLASMA PHYSICS

[2] THE ANODIC VACUUM-ARC .1. BASIC CONSTRUCTION AND PHENOMENOLOGY [J].

EHRICH, H .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1988, 6 (01) :134-138

[3]

HARPER JME, 1984, ION BOMBARDMENT MODI, P127

[4]

SCHURER K, 1969, THESIS ROTTERDAM

[5]

WEAST RC, 1976, HDB CHEM PHYSICS