ANOMALOUS PHOSPHORUS DIFFUSION IN SI DIRECTLY MASKED WITH SI3N4 FILMS

被引：15

作者：

MIZUO, S

HIGUCHI, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.20.791

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：791 / 792

页数：2

共 7 条

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