VOIDING DUE TO THERMAL-STRESS IN NARROW CONDUCTOR LINES

被引：48

作者：

YOST, FG

机构：

来源：

SCRIPTA METALLURGICA | 1989年 / 23卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1016/0036-9748(89)90053-7

中图分类号：

TF [冶金工业];

学科分类号：

0806 ;

摘要：

引用

页码：1323 / 1328

页数：6

共 14 条

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