FORMATION OF DIELECTRIC AND SEMICONDUCTOR THIN-FILMS BY LASER-ASSITED EVAPORATION

被引:75
作者
SANKUR, H
CHEUNG, JT
机构
来源
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1988年 / 47卷 / 03期
关键词
D O I
10.1007/BF00615933
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:271 / 284
页数:14
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