PHOTODEPOSITION OF AMORPHOUS SELENIUM FILMS BY SELOR PROCESS .1. MAIN FEATURES OF PROCESS, FILM STRUCTURE

被引:27
作者
PERAKH, M
PELED, A
FEIT, Z
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(78)90113-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:273 / 282
页数:10
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