IMPROVED THIN-FILM AL2O3 CAPACITORS

被引：5

作者：

RAO, MK

JAWALEKAR, SR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(78)90352-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：185 / 188

页数：4

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