NEW DIMENSIONS IN OPTICAL LITHOGRAPHY

被引：17

作者：

OLDHAM, WG ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,BERKELEY,CA 94720

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1980年 / 27卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1980.25294

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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