RECOMMENDED PROCEDURE FOR MEASURING PUMPING SPEEDS

被引：32

作者：

HABLANIAN, MH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574420

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：2552 / 2557

页数：6

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共 1 条

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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1986, 4 (03) :353-357