MODULAR THIN FILM DEPOSITION SYSTEM

被引：3

作者：

AMES, I

HOEKSTRA, J

FOLCHI, G

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1971年 / 42卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1685276

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：1049 / &

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