VACUUM INTERLOCK SYSTEM FOR MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引：13

作者：

ROBINSON, JW

ILEGEMS, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1135366

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：205 / 207

页数：3

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共 4 条

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