INVESTIGATION INTO THE CONDUCTION MECHANISM OF CVD AMORPHOUS AND POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS

被引：9

作者：

HE, YL

LIU, HN

机构：

来源：

JOURNAL DE PHYSIQUE | 1981年 / 42卷 / NC4期

关键词：

D O I：

10.1051/jphyscol:19814183

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