PHOTOLITHOGRAPHY OF POLYTETRAFLUOROETHYLENE FOR ADHESION

被引：23

作者：

RYE, RR

MARTINEZ, RJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/app.1989.070370906

中图分类号：

O63 [高分子化学（高聚物）];

学科分类号：

070305 ; 080501 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：2529 / 2536

页数：8

共 8 条

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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1982, 20 (02) :226-232