MODEL OF EVAPORATION KINETICS FROM A TEMPERATURE-PROGRAMMED LARGE-AREA SOURCE .1. PURE SELENIUM

被引：4

作者：

ABOWITZ, G ^{[1
]}

机构：

[1] XEROX CORP,WEBSTER,NY 14580

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569270

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：797 / 802

页数：6

共 16 条

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