SPATIAL-DISTRIBUTION OF TEMPERATURE AND NUMBER DENSITIES OF ELECTRONS AND ATOMIC AND IONIC SPECIES IN AN INDUCTIVELY COUPLED RF ARGON PLASMA

被引:165
作者
KORNBLUM, GR [1 ]
DEGALAN, L [1 ]
机构
[1] DELFT UNIV TECHNOL,ANAL SCHEIKUNDE LAB,DELFT,NETHERLANDS
关键词
D O I
10.1016/0584-8547(77)80011-6
中图分类号
O433 [光谱学];
学科分类号
0703 ; 070302 ;
摘要
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页数:26
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