ELECTROCHEMICALLY CONTROLLED THINNING OF SILICON

被引：40

作者：

WAGGENER, HA

机构：

来源：

BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL | 1970年 / 49卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1002/j.1538-7305.1970.tb01783.x

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：473 / +

页数：1

相关论文

共 3 条

[1] BEAM-LEAD TECHNOLOGY [J].

LEPSELTE.MP .

BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL, 1966, 45 (02) :233-&

[2]

WAGGENER HA, 1967, OCT IEEE INT EL DEV

[3]

1968, Patent No. 67030