ANALYSIS OF OXYGEN PUMPING EFFECT OF TUNGSTEN CATHODES IN IONIZATION GAUGES AND MASS SPECTROMETERS

被引:3
作者
DABIRI, AE
STICKNEY, RE
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.1317714
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1032 / &
相关论文
共 13 条