RD3D (COMPUTER-SIMULATION OF RESIST DEVELOPMENT IN 3 DIMENSIONS)

被引：19

作者：

JONES, F

PARASZCZAK, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1981.20643

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1544 / 1552

页数：9

共 5 条

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