THE THICKNESS DEPENDENCY OF THE DIELECTRIC-CONSTANT IN CERTAIN THIN-FILM DIELECTRICS

被引：10

作者：

FELDMAN, C

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1989年 / 65卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1063/1.343081

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：872 / 873

页数：2

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