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CONSTRUCTION OF AN INTERFEROMETRIC GAUGE SYSTEM FOR THICKNESS MEASUREMENT IN WHITE-LIGHT
被引：6
作者：
GOEDGEBUER, JP
LACOURT, A
GUIGNARD, M
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0030-3992(78)90078-6
中图分类号：
O43 [光学];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
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页码：193 / 196
页数：4
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