ELECTRON-MICROSCOPE STUDY OF MICROTWINS IN EPITAXIAL SILICON FILMS ON SAPPHIRE

被引：11

作者：

LIHL, R ^{[1
]}

OPPOLZER, H ^{[1
]}

PONGRATZ, P ^{[1
]}

SKALICKY, P ^{[1
]}

SVANDA, W ^{[1
]}

机构：

[1] SIEMENS AG,FORSCH LAB,D-8000 MUNICH 80,FED REP GER

来源：

JOURNAL OF MICROSCOPY-OXFORD | 1980年 / 118卷 / JAN期

关键词：

D O I：

10.1111/j.1365-2818.1980.tb00250.x

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：89 / 95

页数：7

共 7 条

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