NUMERICAL-METHOD FOR THE ELLIPSOMETRIC DETERMINATION OF OPTICAL-CONSTANTS AND THICKNESS OF THIN-FILMS WITH MICROCOMPUTERS

被引：21

作者：

EASWARAKHANTHAN, T

MICHEL, C

RAVELET, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(88)90589-4

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：339 / 345

页数：7

共 4 条

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