REFRACTIVE-INDEX DISPERSION IN SEMICONDUCTOR-RELATED THIN-FILMS

被引:15
作者
WARNECKE, AJ [1 ]
LOPRESTI, PJ [1 ]
机构
[1] IBM CORP,SYST PROD DIV LAB,E FISHKILL FACIL,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533
关键词
D O I
10.1147/rd.173.0256
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
引用
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页数:7
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