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THIN HGS FILMS OBTAINED BY CHEMICAL TRANSPORT IN GASEOUS PHASE
被引：7
作者：
DEBIAIS, G
BARCELO, J
AICARDI, JP
MASSE, G
BOMBRE, F
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(71)90010-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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