THE MECHANISMS FOR SILICON OXIDATION IN STEAM AND OXYGEN

被引:112
作者
LIGENZA, JR
SPITZER, WG
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3697(60)90219-5
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
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页数:6
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